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在真空閥門運行中,波紋管與閥桿剛性連接并同步軸向運動,實現閥門的精準啟閉。作為真空密封的核心屏障,波紋管需持續承受系統壓力梯度,并確保超高真空環境的動態密封性。相較于填料密封閥門,波紋管設計*杜絕了填料磨損導致的微泄漏風險,在真空工況下具有可靠性倍增、零介質滲透及免維護的核心優勢,專用于半導體裝備、真空鍍膜系統等對密封完整性要求極嚴苛的領域。
在真空閥門運行中,波紋管與閥桿剛性連接并同步軸向運動,實現閥門的精準啟閉。作為真空密封的核心屏障,波紋管需持續承受系統壓力梯度,并確保超高真空環境的動態密封性。相較于填料密封閥門,波紋管設計*杜絕了填料磨損導致的微泄漏風險,在真空工況下具有可靠性倍增、零介質滲透及免維護的核心優勢,專用于半導體裝備、真空鍍膜系統等對密封完整性要求極嚴苛的領域。